半導体製造装置用アルミフィルター

板厚の薄いアルミ部材に小さな穴を51,797個あけました。
裏側でバリがでないよう、送り速度などの加工条件を見極めて加工しています。
薄板に穴をあける際は、切子がベースとワークの間に入り込んでワークが膨らんでしまうため、小まめにエアブローで切子を落としながら加工しました。

材質

アルミ（A5052）

寸法・精度

全体：279.4mm×186.8mm、穴径：φ0.45、板厚：0.65mm、平面度・平行度：±0.15mm

加工

5万個の小径穴あけ

用途・産業

半導体製造装置

納期目安

3枚／2週間

カテゴリー

アルミ難加工　半導体装置部品　

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